TS Science
Product
In-situ UV Analysis
Micro-area In-situ UV-Vis-NIR
Micro-area In-situ UV-Vis-NIR
전체 시료의 평균이 아니라, 특정 위치의 Optical Change를 추적합니다.
JASCO MSV Series는 Wafer, Thin Film, Crystal, Micro-device 및 불균일한 Functional Material에서 특정 Micro-area를 선택하여 Transmission 또는 Reflection Spectrum을 측정할 수 있습니다.
여기에 Heating / Cooling Stage, Cryostat, Gas Cell 또는 Electrical Probe Stage와 같은 Environmental Accessory를 결합하면 동일한 위치를 유지하면서 외부 조건 변화에 따른 Local Optical Property를 시간에 따라 관찰할 수 있습니다.
JASCO MSV-5000 Series UV-Vis-NIR Microspectrophotometer
“변화가 일어나는가?”를 넘어
“어느 위치에서 변화가 일어나는가?”를 관찰합니다.
Bulk UV-Vis-NIR Measurement에서는 측정 영역 전체의 평균적인 Optical Response가 나타납니다. Micro-area In-situ Measurement에서는 시료 내부의 특정 위치를 선택한 후 그 위치가 Temperature, Atmosphere 또는 Electrical Condition에 따라 어떻게 변화하는지를 직접 비교합니다.
Bulk Measurement와 무엇이 다를까요?
시료 전체의 평균적인 변화
넓은 Measurement Area에서 얻어진 Transmission / Reflection Spectrum을 이용하여 시료 전체의 Optical Property 변화를 평가합니다.
특정 위치의 Local Change
Pattern, Domain, Pixel 또는 특정 Micro-area를 선택하여 동일 위치의 Optical Response를 추적하므로 불균일한 시료의 Local Behavior를 분석할 수 있습니다.
Micro-area In-situ로 무엇을 볼 수 있을까요?
Local Absorption Change
특정 위치의 Absorbance 및 Absorption Edge 변화를 추적합니다.
Local T / R Change
Micro-area의 Transmission 또는 Reflection 변화를 외부 조건과 비교합니다.
Phase / State Transition
특정 Domain 또는 Pattern에서 발생하는 Optical Transition을 관찰합니다.
Spatial Heterogeneity
서로 다른 위치에서 나타나는 Optical Response 차이를 비교합니다.
Micro-area In-situ System 구성
MSV와 Environmental Stage를 조합하고, 측정하려는 조건에 맞춰 Optical Geometry를 구성합니다.
MSV Series
Transmission / Reflection
Stage / Cell
Condition Control
다양한 외부 조건과 결합할 수 있습니다.
Temperature
Heating / Cooling 과정에서 특정 위치의 Optical Property 변화를 추적합니다.
Cryogenic
저온 환경에서 Local Optical Transition 및 Temperature Dependence를 측정합니다.
Gas / Atmosphere
Reactive / Inert Atmosphere 변화에 따른 특정 영역의 Optical Response를 비교합니다.
Electrical Bias
Voltage를 인가하면서 Micro-device 또는 Functional Material의 Optical Response를 추적합니다.
Environmental Stage와 Optical Geometry가 적합한 경우 Vacuum / Pressure, Humidity, Light Irradiation 및 기타 Controlled Environment도 연구 목적에 따라 확장하여 검토할 수 있습니다.
Micro-area를 유지한 상태에서 환경 조건을 변화시킵니다.
Environmental Stage는 측정 환경을 구현하기 위한 3rd-party Accessory이며, MSV Objective와의 Working Distance, Optical Window 및 Measurement Geometry를 기준으로 적용 가능 여부를 검토합니다.
Temperature / Gas Environment
Heating / Cooling Stage와 Optical Window를 이용하여 Temperature 및 Controlled Atmosphere 조건에서 동일한 Sample Area를 관찰할 수 있습니다.
Temperature + Electrical Bias
Electrical Probe Stage를 이용하면 Temperature를 제어하면서 Sample에 Bias를 인가하여 Micro-device 또는 Functional Material의 Optical Response를 추적하는 구성을 검토할 수 있습니다.
동일 위치를 유지한 상태에서 변화를 추적합니다.
Select Area
관찰하려는 Micro-area, Pattern 또는 Device 영역을 선택합니다.
Set Environment
Temperature, Gas 또는 Electrical Condition을 설정합니다.
Measure Spectrum
동일 위치에서 Transmission / Reflection Spectrum을 반복 측정합니다.
Compare Change
조건 변화와 Local Spectrum을 비교하여 Dynamic Behavior를 분석합니다.
이런 연구에 적용할 수 있습니다.
Semiconductor & Wafer
Pattern 또는 Microstructure의 특정 위치를 선택하여 Temperature 및 환경 조건 변화에 따른 Local Optical Property를 비교합니다.
Thin Film & Functional Materials
불균일한 Film 내부에서 위치별 Absorption / Reflection 변화와 Optical Transition을 관찰합니다.
Micro-device & Electro-optics
Electrical Bias 또는 Operating Condition에 따라 Pixel, Active Area 및 Micro-device의 Optical Response 변화를 추적합니다.
Crystal & Phase-change Materials
Heating / Cooling 과정에서 특정 Domain의 Phase 또는 Optical State 변화를 관찰합니다.
Micro Spectroscopy와 Environmental Control을 결합합니다.
Static Micro Analysis에서 Dynamic Micro Analysis로
MSV Series의 Micro-area Transmission / Reflection Measurement를 기반으로 Environmental Stage 또는 Cell을 결합하면 동일 위치의 Spectrum을 외부 조건 변화에 따라 반복 측정할 수 있습니다.
따라서 단순히 시료의 어느 위치가 다른지를 확인하는 것에서 나아가, 특정 위치가 실제 환경 변화에 어떻게 반응하는지를 분석하는 In-situ Measurement Platform으로 확장할 수 있습니다.
JASCO MSV-5000 Series →연구 환경에 맞는 Stage / Cell을 구성합니다.
Environmental Stage Configuration
Heating / Cooling Stage, Optical Cryostat, Gas / Atmosphere Cell, Electrical Probe Stage 등 다양한 3rd-party Environmental Accessory를 이용하여 Micro-area In-situ Environment를 구성할 수 있습니다.
실제 적용 시에는 Objective Working Distance, Sample Height, Optical Aperture, Window Material, Transmission / Reflection Geometry, Wavelength Range 및 Stage Dimension을 함께 검토합니다.
※ Linkam, Oxford Instruments, Instec 등은 적용 검토가 가능한 3rd-party 제조사의 예시이며, 본 표기는 JASCO 또는 티에스싸이언스와의 공식 제휴 관계를 의미하지 않습니다. 실제 적용 가능 여부는 Accessory Geometry, Optical Path 및 실험 조건에 따라 별도 검토가 필요합니다.
Stage를 먼저 고르기보다, 측정하려는 위치와 환경을 먼저 정의합니다.
Sample Size와 Measurement Area, Transmission / Reflection 여부, 필요한 Temperature Range, Gas / Atmosphere, Electrical Bias 및 Wavelength Range를 확인한 후 Objective와 Environmental Stage의 Optical Geometry를 함께 검토하여 System을 구성합니다.
어느 위치의 Optical Change를 관찰하고 싶으신가요?
Sample 형태와 Measurement Area, Temperature, Gas, Electrical Condition, 필요한 Wavelength Range를 알려주시면 JASCO MSV 기반 Micro-area In-situ UV-Vis-NIR Measurement Configuration을 검토해드립니다.
