MSV-5500
TS Science
Product
UV-Vis/NIR Microscopy
MSV-5500
→MSV-5500은 JASCO의 UV/Vis Microspecetrophotometer로 200 ~ 900 nm의 파장 범위에서 미세 샘플의 투과(Transmittance), 반사(Reflectance) 분석에 최적화된 장비입니다. 고해상도 광학 시스템과 PMT(Photomultiplier Tube) Detector를 통해 반도체, 박막, 컬러 필터, 생명과학 샘플 등의 분석과 Xe Lamp의 추가 장착을 통하여 형광 Excitation 측정 또한 가능합니다.
1. Specification
| JASCO MSV-5500 | |
| Optical System | Single monochromator, Czerny-Turner mount, Double beam type |
| Light Source | Deuterium lamp, Halogen lamp (Optional: 150W Xenon lamp) |
| Wavelength Range | 200 ~ 900 nm |
| Wavelength Accuracy | ±0.3 nm (656.1 nm) |
| Spectral Bandwidth | 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10 nm (Low stray light mode: L2, L5, L10 nm) |
| Scanning Mode | Continuous scanning or step scanning |
| Detector | Photomultiplier tube (PMT) |
| Measurement Modes | Transmittance, Reflectance |
| Sample Observation | High-resolution built-in CMOS camera (3 million pixels), Optical zoom, ATOS (Aperture Through Optical System), LED illumination |
| Objective Mirrors | Cassegrain objective mirror (10x, 16x, 32x), Automatic 4-position motor-driven objective revolver switching |
| Condensing Mirrors | Cassegrain condensing mirror (10x, 16x, 32x), Manual replacement with automatic correction |
| Aperture | Φ16, 32, 48, 80, 160, 320 μm (when 10x Cassegrain objective mirror is used) Φ10, 20, 30, 50, 100, 200 μm (when 16x Cassegrain objective mirror is used) Φ5, 10, 15, 25, 50, 100 μm (when 32x Cassegrain objective mirror is used) |
| Sample Stage | Manual stage (X: 75 mm, Y: 50 mm, Z: 20 mm), Optional: Automatic XYZ stage (X: 72 mm, Y: 52 mm, Z: 25 mm, 1 μm interval) |
| Software | JASCO Spectra Manager Ver.2 (Windows 10 Pro 64-bit) |
| Dimensions & Weight | 740 (W) × 745 (D) × 630 (H) mm, Approx. 111 kg |
| Power Requirements | AC 100-240V, 50/60Hz, 340 VA |
2. 정밀한 샘플 측정을 위한 자동 Stage와 CMOS 카메라
MSV-5000 시리즈는 자동 XYZ 스테이지와 고해상도 CMOS 카메라의 조합을 통해 정밀 샘플 분석을 제공합니다. 이 두 기술은 상호 보완적으로 작동하여, 사용자가 정확한 위치 제어와 고해상도 시각화를 동시에 수행할 수 있도록 최적화되어 있습니다.
자동 Stage의 경우 X,Y,Z축 방향으로 1 μm 단위의 정밀 이동이 가능하며, 샘플 높이에 따른 자동 포커싱 기능이 탑재되어 있습니다. 또한, 자동 Mapping(매핑) 및 scan이 가능하여 지정한 영역의 자동 스펙트럼 매핑 및 패턴 분석이 가능합니다.
추가적으로, 샘플을 관찰하기 위한 카메라는 고해상도 CMOS 카메라가 장착이 되어 있습니다. 300만 화소의 해상도의 CMOS카메라는 LED 조명이 내장되어 있어 샘플 관찰 시 균일한 광원의 제공으로 높은 이미지 품질을 확보하며, 광학 줌 기능을 통해 특정 샘플 영역을 고배율로 확대 분석이 가능합니다. 또한 ATOS(Aperture Through Optical System)을 통해 Aperture 크기 변화에 따른 초점 조정 자동화의 기능으로 샘플의 포커싱에 도움을 줍니다.
3. Application
1. 반도체 및 나노소재 분석
연구 및 산업에서의 활용
→반도체 박막(Thin Film) 분석: 반도체 공정에서 형성된 박막의 반사 및 투과율 특성을 평가하여, 광학적 균일성을 확인합니다.
→나노 패턴 분석: MEMS(미세전자기계시스템) 및 포토리소그래피 공정에서 생성된 나노 구조물의 반사 및 투과 특성 분석 가능
→태양광 셀 효율성 평가: 태양광 패널(Perovskite, 실리콘 태양전지 등)의 반사율 및 흡수율을 분석하여 광전 효율 개선 연구
관련 연구 예시:
✔ Si, GaAs, Perovskite 기반 태양전지의 반사율 평가
✔ 포토리소그래피(Photolithography) 패턴 평가
✔ 반도체 박막의 굴절률 변화 연구
2. 컬러 필터 및 디스플레이 분석
연구 및 산업에서의 활용
→컬러 필터의 광학적 특성 분석: 디스플레이 산업에서 사용되는 컬러 필터의 투과율과 반사율을 측정하여 색상 정확도를 평가
→OLED 및 QD 디스플레이 특성 분석: 차세대 디스플레이 소재(Quantum Dot, MicroLED)의 광학적 특성 연구
→CIE 색좌표(Color Coordinate) 측정: 정확한 색상 품질 관리를 위한 색좌표 분석 기능 지원
관련 연구 예시:
✔ LCD, OLED 컬러 필터의 반사율 및 투과율 분석
✔ 백라이트 유닛(BLU)의 광학적 특성 평가
✔ 편광 필름의 광학적 균일성 연구
3. 박막 및 멀티 레이어 분석
연구 및 산업에서의 활용
→박막 두께 분석 (nm 단위 정밀 측정 가능): 광간섭을 이용한 박막의 두께 및 굴절률 측정
→다층 박막(Multi-layer) 구조 분석: 유전체 박막, 코팅 필름, 반도체 적층 구조의 층별 광학적 특성 연구
→광학 코팅 연구: AR(Anti-Reflection), HR(High Reflectivity) 코팅 소재의 성능 평가
관련 연구 예시:
✔ 유전체 다층 박막 분석
✔ OLED 및 태양광 패널의 보호 코팅 분석
✔ 반도체 공정에서의 박막 두께 변화 평가
4. 생명과학 및 바이오 샘플 분석
연구 및 산업에서의 활용
→형광 Excitation 분석: Xe 램프를 활용하여 형광 단백질, 바이오센서, 형광 나노입자의 Excitation 특성 연구 가능
→DNA 및 단백질 샘플 분석: 생체 분자의 광학적 특성을 투과율 분석을 통해 연구
→생체 조직 및 세포 샘플의 광학적 특성 분석
관련 연구 예시:
✔ 형광 단백질의 Excitation Spectrum 분석
✔ 바이오센서(Fluorescent Probe) 연구
✔ 형광 기반 DNA 분석
5. 산업 및 품질 관리
연구 및 산업에서의 활용
→광학 필름 및 나노소재의 품질 검사
→자동차 및 건축 유리의 반사 및 투과율 분석
→UV 차단 필름 및 코팅 소재의 광학 성능 평가
관련 연구 예시:
✔ UV 차단 코팅 필름의 광학적 특성 분석
✔ 광학 렌즈 및 필터의 반사율 평가
약관
약관내용