Specular & Grazing Angle & MAIRS | 박막 분석 및 분자 배향 분석 솔루션
매끄러운 표면이나 기판 위의 코팅층을 분석할 때는 시료의 특성(금속 vs 비금속)과 두께에 따라 최적화된 반사 기법을 선택해야 합니다.
시료의 두께와 굴절률에 맞춰 고정된 각도(10°, 30°, 45°) 또는 가변각을 선택하여 최상의 스펙트럼을 확보할 수 있습니다.
| Specular Reflectance Series | ||
| 10Spec / 30Spec / 45Spec | VeeMAX III (가변각) | Absolute Reflectance |
|---|---|---|
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| 고정각 정반사 악세서리 | 프리미엄 가변각 정반사 | 절대 반사율 측정 |
| 입사각이 고정된 경제적인 모델로, 유리나 고분자 필름의 근수직 반사(Near-normal) 측정 및 두꺼운 코팅 필름 분석에 적합합니다. | 입사각을 30°에서 80°까지 자유롭게 조절하여, 시료의 굴절률과 두께에 맞춰 반사율이 극대화되는 최적의 지점을 찾을 수 있습니다. | 표준 백색판 없이 시료 표면 자체의 순수한 '절대 반사율'을 정밀하게 측정하는 광학계입니다. |
알루미늄 기판 위에 코팅된 마이크로미터 단위의 폴리머 층을 10Spec으로 측정한 결과입니다. 정반사 스펙트럼에서 나타나는 간섭무늬(Interference fringes)를 분석하여 코팅의 물리적 두께를 계산하거나, K-K 변환을 통해 수지 성분을 정성 분석할 수 있습니다.

금속 기판 위에 증착된 수 나노미터(nm) 단위의 초박막을 분석하기 위해 80° 이상의 극단적인 입사각을 제공합니다.
| Grazing Angle (RAS) Series | |
| JASCO RAS PRO410-H | PIKE 80Spec & AGA |
|---|---|
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| JASCO Reflection Absorption | PIKE Grazing Angle Spec. |
| 편광자와 85° 입사각을 결합하여 금속 표면의 산화막이나 유기물 잔류물 분석 시 감도를 극대화한 RAS 전용 모델입니다. | 80°로 고정된 80Spec과 시료 전체에 초점을 균일하게 맞춘 AGA 모델로, 단분자막 수준의 미세한 신호도 선명하게 검출합니다. |
초고감도의 특수 장비(PM-IRRAS 등) 없이, 표준 RAS 악세서리(80°~85° 입사각)와 편광자(Polarizer)의 조합만으로도 금속 기판 위에 코팅된 서브 마이크론(Sub-micron) 두께의 얇은 박막을 훌륭하게 분석할 수 있습니다.
[측정 예시] 금속 기판 위에 코팅된 얇은 폴리머 박막 스펙트럼
일반적인 기법으로는 금속 기판의 간섭이나 막의 얇은 두께로 인해 피크가 드러나지 않지만, RAS 기법을 적용하면 그림과 같이 코팅 물질 고유의 명확한 적외선 흡수 밴드(C-H, C=O 결합 등)를 추출하여 성분을 정성 분석할 수 있습니다.
비금속 기판(Si, Ge 웨이퍼) 위에 코팅된 초박막의 수평/수직 분자 배향성을 파괴 없이 정밀하게 분리해 내는 독보적인 솔루션입니다.
| JASCO P-MAIRS Unit | |
| JASCO P-MAIRS Unit | 주요 특징 및 장점 |
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반도체 웨이퍼 위에 코팅된 유기 박막의 분자들이 기판에 수직으로 서 있는지, 수평으로 누워 있는지 정밀하게 파악할 수 있습니다. 추출된 IP(적색)와 OP(청색) 스펙트럼의 피크 강도 차이를 통해 분자의 입체적 구조를 증명합니다.

※ 필름의 두께 및 기판의 재질(금속 vs 비금속)에 따라 최적의 반사 악세서리 선택이 달라집니다. 분석하시고자 하는 시료의 조건을 기술영업부로 알려주시면 최상의 솔루션을 제안해 드립니다.