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FTIR Spectroscopy

[FTIR] Gas Analysis | Gas Cell · Long Path · Concentration Monitoring

FTIR ACCESSORIES · GAS ANALYSIS

FTIR Gas Analysis
Gas Cell · Long Path · Concentration Monitoring

Process Gas · Reaction Gas · Vapor · Exhaust · Moisture · Concentration

기체 분자는 고유한 IR Absorption Band를 가지므로 FTIR을 이용하면 Gas의 성분 확인과 농도 변화를 Spectrum으로 측정할 수 있습니다.

측정하고자 하는 Gas의 예상 농도와 흡광도, 필요한 검출 감도에 따라 Short-Path 또는 Long-Path Gas Cell을 선택하며, Heating, Pressure 및 Vacuum 조건을 추가하여 다양한 Gas Analysis System으로 확장할 수 있습니다.

Short Path · Long Path · Heated Cell · Vacuum · Process Monitoring
Gas Cell은 왜 Pathlength가 중요한가요?
Gas 농도와 흡수 강도에 따라 광경로를 선택합니다.

Beer-Lambert Law에 따라 일반적으로 Gas가 IR Beam과 상호작용하는 거리가 길어질수록 같은 농도에서도 더 큰 Absorbance를 얻을 수 있습니다.

  • Short-Path Gas Cell: 비교적 농도가 높거나 강한 IR Absorption을 갖는 Gas를 측정할 때 사용합니다.
  • Long-Path Gas Cell: 낮은 농도의 Gas를 측정할 때 Multi-pass Mirror를 이용하여 실제 Cell 크기보다 긴 Optical Path를 구현합니다.
  • Heating: 응축 가능성이 있는 Gas나 Vapor는 Cell과 Gas Line을 가열하여 Sample 상태를 유지해야 할 수 있습니다.
  • Vacuum / Purge: Water Vapor 및 CO₂처럼 대기에도 존재하는 성분을 낮은 농도에서 측정할 경우 Background 조건 관리가 중요합니다.
어떤 Gas Cell이 필요한가요?
01
일반 Gas 분석

비교적 농도가 높은 Gas 및 일반적인 정성 분석
→ Short-Path Gas Cell

02
저농도 Gas

긴 Optical Path가 필요한 Trace Gas 측정
→ Long-Path Gas Cell

03
Vapor / Condensation

응축 가능성이 있는 Gas를 일정한 Temperature에서 측정
→ Heated Gas Cell

04
Process Monitoring

Gas를 연속적으로 흘리면서 시간에 따른 농도 변화를 추적
→ Flow-through / Long-Path

1. Low Concentration Gas Analysis

Long-Path Gas Cell은 내부 Mirror에서 IR Beam을 여러 번 반사시켜 수 m 이상의 Optical Path를 구현하며, 낮은 농도의 Gas 분석에 활용합니다.

LPC Series Multi-pass Long-Path Gas Cell
JASCO Long Path Gas Cell

Multi-pass Mirror를 이용하여 Cell 내부에서 IR Beam을 반복 반사시키는 Long-Path Gas Cell입니다. 분석 농도와 목적에 따라 3 m, 8 m, 10 m, 12 m 등의 Optical Path 구성을 선택할 수 있습니다.

Heated / Vacuum Configuration Environmental Gas Measurement
FTIR Gas Cell with JASCO System

분석 대상에 따라 Heating Jacket, Vacuum 및 Gas Flow System을 추가하여 응축을 줄이거나 Background 영향을 관리하면서 Gas Spectrum을 측정할 수 있습니다.

구분 LPC Series
Type Multi-pass Long-Path Gas Cell
Optical Path 3 m / 8 m / 10 m / 12 m
Recommended Use Low Concentration / Trace Gas Measurement
Temperature Control Heating Jacket 구성 가능 / 최대 약 200°C
Optional Configuration Vacuum · Flow-through · Pressure
Long-Path Gas Cell을 이용한 Low Concentration Measurement
12 m Long-Path Cell을 이용한 CO 및 Water Vapor 측정

Long-Path Cell은 낮은 농도의 Gas에서 IR Absorption Signal을 확보하기 위해 Optical Path를 증가시키는 방법입니다.

아래 데이터는 12 m Long-Path Gas Cell을 이용하여 CO 및 Water Vapor를 측정한 예입니다.

Measurement Point

동일한 Gas 농도에서도 Optical Path, Pressure, Detector 및 Background 조건에 따라 관찰되는 Absorbance와 Detection Limit가 달라질 수 있습니다. 따라서 목표 농도에 맞춰 전체 시스템 조건을 함께 검토해야 합니다.
10.1 ppm CO Gas FTIR Spectrum

[Data 01] 10.1 ppm CO Measurement
동일한 10.1 ppm CO를 대기압과 가압 조건에서 측정한 비교 데이터입니다. Pressure가 증가하면 Cell 내부의 Gas Density가 증가하여 Absorbance도 함께 증가하는 경향을 확인할 수 있습니다.

15 ppm Water Vapor FTIR Spectrum

[Data 02] 15 ppm Water Vapor Measurement
15 ppm Water Vapor를 반복적으로 주입하고 배기하면서 측정한 예로, 1653 cm⁻¹ 부근의 흡수 Band를 이용하여 반복 측정 결과를 비교할 수 있습니다. 대기 중에도 Water Vapor가 존재하기 때문에 저농도 Moisture 측정에서는 Vacuum 및 Background 관리가 특히 중요합니다.

2. Routine & Higher Concentration Gas Analysis

Short-Path Gas Cell은 일반적인 Gas의 정성 분석이나 비교적 높은 농도의 Sample을 간단하게 측정할 때 적합합니다.

HT Gas Cell High Throughput Gas Cell
HT Short Path Gas Cell

높은 Optical Throughput이 필요한 일반 Gas 측정을 위한 Short-Path Cell입니다. 50 mm 또는 100 mm Pathlength를 분석 목적에 따라 선택할 수 있습니다.

EC Gas Cell Economical Gas Cell
EC Short Path Gas Cell

간헐적인 Gas Sampling 및 일반적인 Routine Measurement를 위한 실용적인 Short-Path Gas Cell입니다.

구분 HT Gas Cell EC Gas Cell
Pathlength 50 mm / 100 mm 50 mm / 100 mm
Concept High Throughput Economical / Routine
Recommended Use 높은 Optical Energy가 필요한 Gas 측정 일반적인 Gas Sampling 및 Routine 분석
Gas를 흘리면서 시간에 따른 변화를 측정
Static Measurement에서 Process Monitoring으로

Gas Cell에 Sample Gas를 일정하게 흘려주고 FTIR Spectrum을 반복적으로 측정하면 시간에 따른 Gas Composition 또는 Concentration 변화를 추적할 수 있습니다.

이러한 구성은 Reaction Product, Catalyst Exhaust, Process Gas 및 다양한 Gas-phase Reaction 연구에 활용할 수 있습니다.

Flow-through · Time Series · Reaction Gas · Process Monitoring
FTIR In-situ Solution 자세히 보기 →
FTIR Gas Monitoring System 구성

저농도 Gas 분석에서는 Gas Cell 하나보다 FTIR, Detector, Gas Handling 및 Background Control을 하나의 시스템으로 구성하는 것이 중요합니다.

FT/IR-6X
or 8X
Gas Cell
Pathlength
Heating /
Vacuum
Gas Flow /
Pressure
Spectrum /
Concentration
Semiconductor Process Gas Analysis
Process Gas와 반응 생성물의 FTIR Monitoring

반도체 공정에서는 다양한 Gas와 반응 부산물이 사용 또는 발생합니다. FTIR은 해당 Gas가 가지는 고유한 IR Absorption Band를 이용하여 Gas Composition의 변화를 분석할 수 있습니다.

예상 농도와 Gas 특성에 따라 Long-Path, Heated Cell, Vacuum FTIR 및 Continuous Flow System을 조합할 수 있습니다.

Process Gas · Exhaust · Reaction Product · Long Path · Vacuum
반도체 분석 Solution 자세히 보기 →
Gas 종류에 따라 Window 재질도 달라집니다.

Gas Cell을 구성할 때는 목표 Gas의 IR Absorption Region뿐 아니라 Chemical Compatibility, Moisture, Pressure 및 Temperature 조건도 고려해야 합니다.

KBr, CaF₂, BaF₂ 등 Window Material은 각각 투과 영역과 내환경 특성이 다르므로 Target Gas와 측정 조건에 맞춰 선택해야 합니다.

또한 목표 농도가 낮아질수록 Pathlength뿐 아니라 Detector, Background, Gas Line 및 Cell Temperature까지 함께 검토하는 것이 중요합니다.

목표 Gas와 예상 농도를 알려주세요.

Gas 종류, 예상 농도, Temperature, Pressure 및 Continuous Monitoring 여부를 알려주시면 적합한 FTIR 본체와 Gas Cell, Pathlength 및 Window 구성을 검토해드립니다.

FTIR Gas Analysis 구성 문의 →
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약관

약관내용